低溫等離子除臭裝置在廢氣處理中的應用隨（suí）著工業經濟（jì）的發展，石油、製藥、油漆、印刷和塗料等行業產生的揮發（fā）性有機廢氣也日漸增多，這些廢（fèi）氣不僅會在（zài）大氣（qì）中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較（jiào）遠的（de）地方，給環（huán）境（jìng）帶來嚴重的汙染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康（kāng）產生大的危害；另外工業煙氣的無控製排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源於工業排放的硫氧化（huà）物（wù）和氮氧化物) 的危（wēi）害引起了各國的重（chóng）視。由於大氣受汙（wū）染而酸化，導（dǎo）致了生態環境的破壞，重（chóng）大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損（sǔn）失（shī）。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。

低溫等離子（zǐ）除臭設備能夠降解揮發性有機汙染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷（lěng）凝和燃燒等，對於低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化（huà）劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件（jiàn）的限製，具有（yǒu）潛在的（de）優勢。但由於等（děng）離子（zǐ）體是一門包含放電物理學、放電化學、化學（xué）反應工程學（xué）及真空（kōng）技（jì）術等基礎學科之上的交叉（chā）學科。因此, 能成熟的掌握該技術的單位非常的少。

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